1. 复型测量法 一种间接的测量方法，通过将可塑性材料充满在人工缺陷内，经过凝固成型后取出，对比试样/块校准方案，直观、形象、逼 真地再现人工缺陷的立体形貌，对比试样/块校准，取点、线、断面采用相应精度的量具对人工缺陷长度、宽度、---测量，获 得人工缺陷的尺寸数据。
2. 显微测量法 直接通过读数显微镜对人工缺陷放大后，以光学成像或---方法---边缘轮廓或表面，通过x、y、z轴在缺陷上移动的距离直接测量人工槽的长度、宽度、---及通孔的直径。
是用来测量材料及物体厚度的仪表。在工业生产中常用来连续或抽样测量产品的厚度（如钢板、钢带、薄膜、纸张、金属箔片等材料）。这类仪表中有利用α射线、β射线、γ射线穿透特性的厚度计；有利用超声波频率变化的超声波厚度计；有利用涡流原理的电涡流厚度计；还有利用机械接触式测量原理的测厚仪等。用于测定材料本身厚度或材料表面覆盖层厚度的仪器。有些构件在制造和检修时必须测量其厚度，以便了解材料的厚薄规格，各点均匀度和材料腐蚀、磨损程度；
覆层厚度的测量方法主要有：楔切法，光截法，电解法，厚度差测量法，称重法，x射线荧光法，β射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中有五种是有损检测，对比试样/块校准报价，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。 x射线和β射线法是无接触无损测量，但装置复杂昂贵，测量范围较小。因有射线源，使用者必须遵守射线防护规范。x射线法可测极薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。
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